PI(Physik Instrumente)有限责任公司。介绍了新的N-216 NEXLINE高负载压电直线电机。这些超精密纳米定位致动器提供20毫米的行程范围和600 N(130磅)的推力/拉力。其工作原理基于作用在陶瓷转轮上的大量高预加载线性和剪切压电元件的协调运动。
特点和优势
- 全陶瓷驱动,寿命极短,无润滑剂
- 直接直线运动,不涉及旋转/转换
- 无磁真空无尘兼容工作原理
- 推/拉力达到600 N/130 lbs
- 高保持力,达到800 N/177 lbs(断电,不发热!)
- 行程范围20 mm
- 分辨率为0.03 nm(30皮米)
- 静止自锁,无发热
极高的可靠性,几乎无限的使用寿命
NEXLINE压电行走驱动器有许多高端应用,从超精密制造和半导体测试设备到天文和高能物理应用。当对寿命、稳定性、精度和力量的苛刻要求是最重要的时,它们会表现出色。其极高的可靠性使其非常适用于需要纳米级调节和/或振动消除的难以接近的2020欧洲杯下注官网仪器内部。为了延长使用寿命,压电行走控制器可以在任何位置将压电元件上的工作电压降至零,而不影响完全保持力(高达800 N,177 lbs)。
压电行走的工作原理允许不同的操作模式
压电陶瓷夹紧和剪切元件直接作用于与负载耦合的移动转轮上。对于最大速度和长距离运动,可以在全步模式下驱动转轮。通过纳米步进模式可以实现非常均匀的运动和恒定的速度。除了将长行程范围与压电级精度相结合外,NEXLINE PiezoWalk驱动器还可在较小距离(至6µm)上提供高动态模拟操作模式(100赫兹)。
开闭环操作
N-216直线电机有两种版本,用于开环或闭环操作,以及两种不同的负载配置。闭环型配有线性编码器,用于直接测量移动转轮的位置。编码器在整个行程范围内具有5纳米的分辨率。在开环操作中,使用(高动态)模拟操作模式可实现30皮米的定位分辨率。
控制器的选择
NEXLINE操作由两个提供不同功能的运动控制器模型支持。(低成本)E-755控制器提供了纳米级精确定位的全部功能。在E-712提供了更复杂的线性化算法,导致非常平稳的运动高度恒定的速度,并提供了更大的灵活性,其模块化设计的性质。