牛津仪器等离子体技术（OIPT）很高兴地宣布提高其等离子体蚀刻和沉积工具系列的最终指向能力，并引入CCD1光谱仪系统。CCD1能够提供过程端点化能力和UV / VIS谱捕获，并且可作为所有新工具的标准选项或现有牛津仪器客户的升级选项。
该光谱仪提供了通用终点和光谱的经济有效的路线，而不会损害分辨率或信号强度。
CCD1是一个UV/VIS CCD光谱仪，可以监测范围广泛的等离子体发射波长为200nm-880nm。该装置可用于两种方式之一:通过OIPT的PC2000软件的过程端点检测，或全光谱查看和记录。这为用户提供了详细的等离子体光谱信息，可用于监测等离子体中物种的浓度。光谱还可以与以前的光谱数据进行比较，用于系统监控、故障检测和潜在故障分类。
CCD1光谱仪目前可作为新的OIPT蚀刻和沉积工具的系统选项，也可作为现场系统的升级，这取决于系统的年龄、类型和配置。