ASM国际喷嘴速度(纳斯达克股票代码:ASMI，泛欧交易所阿姆斯特丹股票代码:ASM)，今天宣布了两个新的脉冲星订单，来自领先的逻辑客户。其中一个系统是由一个新客户购买的，用于开发下一代先进的高k金属门，而第二个系统是一个现有客户的重复订单，计划在其32纳米高k制造坡道中使用Pulsar。这两种工具都包括多个脉冲星高k反应堆。
ASM热产品事业部通用汽车公司Peo Hansson表示:“这两笔销售反映了我们的信念，即高级逻辑客户将我们的高k工艺视为基于铪的高k栅堆的标准。”“在与我们新客户的决策过程中，Pulsar能够展示出明显的薄膜性能优势，优于竞争工具的铪基栅介质。除了工艺开发，我们还看到越来越多的客户使用我们的Pulsar ALD生产工具从开发阶段转向初始量产阶段。”
Pulsar ALD反应器采用独特的固体化学源传输系统，能够在原子厚度范围内最高效和最精确地沉积氧化铪(HfO2)和氧化硅铪(HfSiO)薄膜。它通过ALD工艺一次沉积一个原子层，实现了22纳米及以下的先进集成解决方案。实现高k薄膜扩展了晶体管栅极技术的规模，因为高k材料比硅氧化物具有更高的介电性能。欧洲杯足球竞彩Pulsar的高k介电ALD沉积工艺可以实现更快、更小的芯片，非常适合高性能服务器和需要低功耗的先进产品，如笔记本电脑、PDA和智能手机。