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牛津仪器释放液氮自动转换装置

从牛津仪器2010年3月22日

作为蚀刻、沉积和生长系统和工艺的领导者，牛津仪器等离子体技术随着新技术的发展，不断为其系统、流程和软件设计升级。通过这种方式，公司可以为客户提供更高的效率和成本节约。

液氮(LN2)自动转换单元(ACU)就是这样一种节省成本和时间的开发，可以通过循环冷水机在LN2和冷水机流体之间自动切换。令人印象深刻的时间节省意味着，当使用ACU时，从200ºC到20ºC的冷却时间减少到40分钟(包括从Cryo模式切换到Chiller模式)，而自然冷却时间为10至12小时。

OIPT的液氮(LN2) ACU可以在200°C到0°C的温度范围内加速冷却，并在需要快速切换模式时节省时间。无人/过夜模式的变化为工作台温度的稳定提供了时间，为第二天开始的处理做好准备。设定值范围在-150ºC到+400ºC之间，更有效地使用LN2，这种完全自动化的升级将节省用户的时间和金钱。

所有新的或现有的牛津仪器系统与低温表或RIE加热电极与LN2自动转换单元兼容。

引用

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美国心理学协会
牛津仪器。(2019年2月10日)。牛津仪器释放液氮自动转换装置。AZoM。于2021年10月25日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=21022检索。
MLA
牛津仪器。“牛津仪器释放液氮自动转换装置”。AZoM．2021年10月25日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=21022 >。
芝加哥
牛津仪器。“牛津仪器释放液氮自动转换装置”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=21022。(2021年10月25日生效)。
哈佛大学
牛津仪器。2019。牛津仪器释放液氮自动转换装置．AZoM, viewed september 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=21022。