牛津仪器等离子体技术(OIPT)刚刚赢得了来自Robert Bosch的五个模块集群工具的合同,是世界领先的太阳能电池制造商之一。
System100Pro沉积工具是一个“十六进制处理程序”提供多个沉积技术的能力,允许在没有真空中断的情况下进行多个处理步骤。群集工具可以选择集成Kelvin探头以进行材料工作功能和光电电压的原位测量能力,而不会真空断裂。
OIPT群集系统为处理器和过程模块提供高真空选项,导致背景污染水平降低,以及集群不同沉积技术的能力。博世系统还将高温衬底表选项包含高达700ºC,并且软件内功率斜坡的灵活性,从而最大限度地减少了过程开始时的潜在损坏。
基于斯图加特,德国,博世开发,制造和市场基于晶圆和薄膜硅太阳能电池,其特征在于具有窄输出公差的高,稳定的输出。该公司已购买OIP群集工具,用于研究和开发。
随着可再生方式产生能量的趋势越来越多,OIP将自己作为越来越多的PV研发市场的主要供应商建立,而去年与该部门的营业额增加了一倍多。