2004年10月8日
日立高科技宣布推出S-3400N可变压力扫描电子显微镜。通过新的电子光学，探测器，泵送系统和增强的样品处理和分析能力，这种新仪器甚至可以快速更轻松地生产更好的质量图像即使是最困难的标本。
S-3400N中的主要创新是电子光学系统，其具有新的枪偏置布置和全自动光束对准。新的象限偏置系统提供更大的光束电流，特别是在低加速电压下。这又导致低加速电压（在3kV的10nm）下的更好分辨率。自动束对准系统确保光束完全对齐，甚至包括自动孔径对准。完美的对齐在所有操作条件下给出最尖锐的图像。
S-3400N采用涡轮分子泵系统，带来了许多益处。没有所需的冷却水，仪器既通过避免水浪费，又能够效率效率，辅助环境。同样重要的是，涡轮分子泵产生清洁器真空并带来快速抽空时间和90秒的样品交换，确保快速的样品吞吐量。可变压力范围为6-270Pa，允许成像油性，湿润或非导电样品。
改进的元素分析能够具有新的腔室设计，其允许在样品分析工作距离处同时安装具有35度的X射线起飞角的X射线消耗（WDX）系统10毫米。较短的分析工作距离确保在分析位置处的更高分辨率成像。
与以前的仪器相比，增强扫描设备将分析位置的最低放大视场提高了1.5倍，使其更容易定位感兴趣的特征。
S-3400N有两个样品处理配置，可容纳直径200毫米的适应样品。I型仪器具有手动样本阶段，并将在分析工作距离处处理高达23毫米厚度的试样，而II型仪器具有全部5轴的标本阶段的全部电动机，具有增加的样本运动和接受标本的能力。在分析位置厚度高达80毫米。
该仪器采用了一种高灵敏度、高响应速度的新型半导体背散射电子探测器。这在低kV下提供了优异的性能。该探测器还能以快速扫描速度工作，从而更容易找到所需的视场。有五个独立可选择的部分，探测器可以切换给原子数对比，地形或三维图像。
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