Laytec出售第一个Epicurvetriple TT计量系统向LED制造商

Laytec很自豪地宣布将Epicurvetriple TT的出售给美国领先的LED制造商。原位系统将用于多环MOCVD反应器中的GAN LED生产。用于晶圆弓控制的曲线光头和3个用于温度和反射率测量的Epitt头的独特组合将是此类的第一个计量系统。

CCS反应堆上安装了第一版的Epitriple TT(无曲线光头)

Epicurvetriple TT是专门设计用于在巨大的淋浴MOCVD反应器中应用的,例如Crius用于GAN LED生产和GAN/SI应用。像Laytec的同上TT一样,Epicurvetriple TT的三个Epitt头部的三个EPITT负责人在3个不同的径向位置处测量反射率和发射率校正的高温法,并可以在敏感器的所有加热区上对生长的绝对温度控制。Laytec新的绝对工具校准后温度测量的准确性优于±1K。当然,在线增长率分析的精度最高为±0.001nm/s。

除此之外,曲线头是应变控制和晶圆弓测量的理想工具。它有助于最大程度地减少4英寸和较大晶片的GAN LED生产中与弓箭相关的不均匀性。

引用

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    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。(2019年2月10日)。Laytec向LED制造商出售第一个Epicurvetriple TT计量系统。azom。于2022年12月23日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=21296检索。

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    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。“ Laytec将第一个Epicurvetriple TT计量系统出售给LED制造商”。azom。2022年12月23日。

  • 芝加哥

    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。“ Laytec将第一个Epicurvetriple TT计量系统出售给LED制造商”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=21296。(2022年12月23日访问)。

  • 哈佛大学

    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。2019。Laytec出售第一个Epicurvetriple TT计量系统向LED制造商。Azom,2022年12月23日,https://www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=21296。

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