πP-563.3CD PIMars工作台是一种压电柔性导向扫描/纳米操作系统。该装置能够实现亚纳米领域的高精度运动控制，并在XYZ中实现340x340x340 μ m移动，这比目前其他电容反馈系统提供的功能要多得多。集成的，直接测量电容传感器和数字闭环控制提高线性度高达三个数量级的传统压电级。
典型应用:微制造，生物技术，纳米技术，扫描显微镜，纳米操作，纳米压印，半导体和数据存储测试设备。2020欧洲杯下注官网
PIMars的阶段是如何工作的?
PIMars工作台采用高强度固态压电驱动器，无摩擦柔性导向系统和绝对测量电容位置传感器。固态压电驱动器的高强度允许在毫秒范围内快速响应和高扫描频率。
PIMars阶段与其他纳米定位阶段有何不同?
与传统的扫描级相比，PIMars级基于不同的设计原则。XYZ系统仅由一个移动部件组成，即单个模块，而不是其他XYZ系统中常见的三个独立堆叠模块。这种“平行运动”的机械设计是由一个平行的直接运动计量反馈系统补充。
采用平行直接计量，所有非接触式传感器监测移动平台，参考它从“外部”到地面。他们可以“看到”离轴和跳动错误。然后控制器实时消除不必要的运动。传统的串行计量传感器(集成在每个轴上)不能检测离轴误差。
平行运动计量允许显著更高的整体XYZ精度。
特点和优势
- 340 x 340 x 340 μ m旅行范围
- 66 x 66毫米透明光圈
- 纳米分辨率
- 毫秒的响应能力
- 超高真空版本高达10-9 hPa
- Invar, Super-Invar和Titanium版本可用
控制器
各种模拟和数字控制器在台式，oem板，机架安装设计可用于驱动单元。