力量近日,该公司宣布已获得一份价值110万美元的合同,为其提供定制的N8 TITANOS大样本原子力显微镜(AFM)国家标准与技术研究所(NIST).该仪器将由NIST的精密工程部门(PED)在其制造工程实验室使用,主要关注于需要可追溯AFM (T-AFM)的计量应用。
该T-AFM仪器将为NIST提供基本的可追溯纳米尺度长度计量,NIST服务于半导体制造、光学和光子学、数据存储和生物医学等行业的客户。该仪器将安装在NIST的Gaithersburg, MD设施,并将用于测量各种参数,如高度,俯仰表面粗糙度和线宽粗糙度。一项要求是可溯源到米的SI(国际单位制)定义的机载计量,这是通过在所有三个轴上使用633 nm波长碘稳定的He-Ne激光器的激光干涉测量实现的。
Bruker的下一代N8 Titanos于2009年12月宣布。该系统旨在为地表测量应用提供最高的稳定性和精度,降至原子分辨率。具有刚性花岗岩基底的单面架构提供了与多组分金属翻译系统的显着优势。N8 Titanos可以容纳高达300mm x 300 mm尺寸的样品,并且可以配备额外的检查技术,例如光学显微镜。其具有最低噪声水平的AFM性能(RMS(Z)<0.05 nm)可以为计量测量提供最高质量的结果。
布鲁克纳米AFM副总裁Frank Saurenbach博士评论道:“布鲁克纳米在计量用途的可追溯AFM方面有多年的经验。我们已经向NIST的德国同行德国联邦物理技术中心(PTB)提供了类似的仪器。该系统已投入使用6年,取得了良好的效果。我们很高兴赢得了这个重要的NIST订单,证明了Bruker设计和制造高性能AFM产品的能力。”
Bruker Nano AFM首席技术官Hans-Achim Fuss博士补充道:“我们期待NIST的PED从N8 TITANOS的性能最近的各种额外改进中受益。进一步提高系统的稳定性,旨在提供最高精度和精度的可追溯AFM结果。”