Nanonex公司,发明家和世界领先的历史悠久历史最长的光刻解决方案提供商,宣布向法国纳尼克斯NX-2500交付纳尼克斯NX-2500至Center National de La Recherche Scientifique(CNRS)。
NX-2500印迹机是中国科学院BTR计划为支持微纳米技术和纳米科学领域的基础技术研究网络而购买的。欧洲杯线上买球
Nanonex NX-2500是完整的晶片纳米粉末和光刻对准器。它能够采用全印记形式:热,可光固化和带有子5nm压印分辨率的压花和副1微米对准精度。基于纳尼克尼克斯独特的专利空腹电压液体技术,NX-2500提供无论背侧拓扑,晶片或面罩平整度还是背面污染的无与伦比的均匀性。该ACP技术还消除了面罩和基板之间的横向移位,这显着增加了掩模寿命。
NX-2500将在LAAS技术平台上作为纳米制造和纳米/微制造的工具,用于纳米生物系统、光子学、终极电子学等前沿研究。Nanonex很荣幸能够支持位于图卢兹的LAAS-CNRS的前沿研究。