牛津仪器等离子技术(OIPT)最近开发的一个新特性使用的干泵、N2,待机模式,这将节约能源和氮等离子体腐蚀,使用沉积和生长系统。之前,系统用干泵的氮清洗设置不断在每分钟35升,但氮只需要运行在这些层面当室运行过程气体。
OIPT新引入的干泵N2待机模式将节省高达96%的氮气的使用在“待机”模式相比,在处理过程中使用。当系统只是抽,“闲置”或“待机”模式,氮入口干泵进行控制可以减少氮进入泵的数量,同时还能继续清洗泵轴承。以及有利于环境,这个功能还提供了显著的降低成本。
泵可以设置通过牛津仪器公司PC2000系统软件运行前预设的氮流一组段流程完成运行后,允许所有气体被安全地稀释和抽离,然后返回N2待机模式。最初这个新功能只能提供系统配置了Adixen泵。它是综合新OIPT作为标准系统。
“牛津仪器最近被提升为富时绿色指数和这个新功能只是一个我们正在进行的项目减少我们和我们的客户——碳足迹”,评论马克Vosloo OIPT销售和客户支持主管。“降低拥有成本的好处,这对每个人来说都只能是一个双赢的局面。我们骄傲我们的客户提供一个长期的承诺,让他们保证我们希望延长OIPT的生活工具,让他们尽可能环保。”