电动汽车集团(EVG)、晶片键合的主要供应商和光刻设备微机电系统、纳米技术和半导体市场,今天宣布它已经介绍了EVG610面具和债券2020欧洲杯下注官网调整器,专门解决其大学和研究客户要求更低的成本核算系统与过程的多功能性。
补充EVG501研发晶圆接合器发射一年前,EVG610是专门设计来为更多的人提供EVG核心对齐技术平台中使用其最新的面具和债券对准器系统。
提供的灵活性被EVG620自动化面具和债券调整器,针对批量生产,EVG610消除昂贵的特性,如自动化,它可能不需要在一个研究机构。
EVG执行技术总监保罗•林德纳评论道,“电动汽车集团一直在与研究设施30年来,给我们洞察小规模的大学研究的独特需求和生产设施。这就是为什么我们继续推出产品像EVG610确保学生和首次用户获得负担得起的系统与先进的技术特性,否则可能不可以在低成本模型。这个最新不可或缺的一部分我们的光刻机和债券对准器产品的家庭,并完成我们的业务遍及整个制造链——从研发到全面、大容量生产环境。”
面临更大的预算限制,大学和科研机构被迫购买设备与规模更大的灵活性,使他们流程跨多个研究项目和应用程序。2020欧洲杯下注官网成本和系统灵活性——在不牺牲质量的结果——在他们的决策过程的关键因素。EVG的新的、低成本的系统提供面具对齐叠加精度最高的技术使最好的曝光,而其债券对齐功能提供了对准精度,最大化流程窗口,确保更高的收益率。更重要的是,EVG610使研究人员能够无缝地将他们的流程迁移到批量生产环境。
EVG610研发系统特性
EVG610面具和债券对齐系统是一个高度灵活的研发系统,可以处理衬底片和200毫米晶圆。这个面具和债券对准器系统设计来支持各种各样的流程如UV-nanoimprint光刻(UV-NIL)和细图案,晶片碰撞和MEMS芯片级封装,集成电路和化合物半导体设备。
从EVG EVG610系统提供核心技术的高容量的面具和债券对齐系统包括:
- 选项将面具和债券对齐功能优化总体拥有成本(TCO)——减少投资,足迹和运营成本相比,两个独立的系统
- 灵活的配置可以从块到4 - 6 - 8英寸基板
- 底边对齐功能,支持背面光刻和债券校准过程
- 无与伦比的曝光光均匀性在晶圆级别(到+ / - -1.5%)
- 过程是完全兼容EVG生产面具和对准焊接系统
- 灵活的多用户系统多语言能力
- 免费维修和高精度整体式空气轴承的阶段
- 基于windows的用户界面