用于MEMS应用的新型空气产品蚀刻材料

Air Products(纽约证券交易所代码:APD)今天宣布将二氟化氙(XeF2)加入其电子材料组合。欧洲杯足球竞彩XeF2主要用于微电子机械系统(MEMS)市场的蚀刻气体。XeF2为制造商提供了硅相对于SiO2和其他材料的高选择性。欧洲杯足球竞彩

Air Products拥有超过35年的氟专业历史,并通过其大型空分装置和XeCovery™氙回收系统获得廉价的氙,因此在服务于蓬勃发展的XeF2市场方面具有独特的定位。

Air Products的商业开发经理Tim Maykut表示:“我们的XeCovery和XeF2产品是互补的,共同为客户提供稳定的低成本XeF2供应。“我们在化学合成方面的经验表明,我们开发的连续流程工艺可以提供高质量的材料,满足MEMS市场的增长潜力。此外,我们对蚀刻工艺应用和其他蚀刻材料供应的深刻理解为任何XeF2用户提供了进一步的价值。欧洲杯足球竞彩此外,我们的包装和交付专业知识支持这种材料与客户设备的轻松集成。”2020欧洲杯下注官网

空气产品公司已经建立了一个试验厂,年产量可达300公斤,这种生产技术可以迅速扩大到公吨的能力。

来源:http://www.airproducts.com/

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  • 美国心理学协会

    空气产品公司。(2019年2月10日)。用于MEMS应用的新型空气产品蚀刻材料。AZoM。2021年7月28日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=23145检索。

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    空气产品公司。“用于MEMS应用的空气产品的新型蚀刻材料”。AZoM.2021年7月28日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=23145 >。

  • 芝加哥

    空气产品公司。“用于MEMS应用的空气产品的新型蚀刻材料”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=23145。(2021年7月28日通过)。

  • 哈佛大学

    空气产品公司。2019.用于MEMS应用的新型空气产品蚀刻材料.viewed september 28, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=23145。

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