卡尔蔡司今天推出了一个新的猎户座®注气系统+氦离子显微镜。事实上的组合(小于0.35海里)惰性气体离子探针与小体积相互作用使样品表面高度精确的感应化学反应。
由此产生的结构有非常小的维度和高调的忠诚。这一突破性的技术已经推出了2010 M&M会议在波特兰,俄勒冈州,8月1 - 5。
钨柱与氦离子束沉积(7700 nm高和直径45 nm制程)。
保罗医生Alkemade卡夫里纳米科学研究所,代尔夫特理工大学,是一个早期的研究人员在氦离子感应欧洲杯线上买球沉积和蚀刻。根据Alkemade博士,“奈米制造的最佳仪器需要高空间分辨率和沉积效率高。幸运的是,氦在猎户座+离子束仪器提供了解决沉积甚至比,通过扫描电子显微镜(SEM)。此外,氦离子提供了沉积效率,非常类似于那些实现了重离子(Ga)聚焦离子束(FIB)工具。注气系统的集成,猎户座氦离子显微镜纳米加工研究被证明是正确的工具”。
注气系统(GIS)的控制通过猎户座+系统软件无缝集成。GIS单元包含三个坩埚的金属和绝缘体沉积和绝缘子腐蚀化学反应。用户可编程的食谱可以创建和召回允许复杂的沉积和蚀刻过程。注气系统在猎户座+创建一个功能强大且灵活的平台上使奈米制造最先进的应用程序。
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