聚合物辅助沉积技术的突破将使金属氧化物薄膜在电子领域得到更广泛的应用

加州大学的科学家和华盛顿州立大学的研究人员一起工作洛斯阿拉莫斯国家实验室美国超导技术中心开发了一种新方法,利用聚合物辅助沉积(PAD)来制造高性能的无机金属氧化物薄膜。这一突破可能为金属氧化物薄膜在电子制造业中的更广泛应用铺平道路。

超导技术中心主任Dean Peterson说:“使用PAD成功地创造了简单和复杂的金属氧化物薄膜,这是这项发明的重要意义之一。”“这项技术提供了一种成本效益高的方法来种植电子和光学材料,将在任何需要薄膜形式的材料的领域得到广泛应用。”欧洲杯足球竞彩

PAD工艺使用一种水基溶液来创建几乎所有金属氧化物的高质量薄膜。这种薄膜可以由一种或几种不同的金属制成,其原子量关系受到控制。非晶、多晶或外延薄膜的厚度可以从10纳米到数百纳米或更厚。洛斯阿拉莫斯的研究人员使用PAD制作了简单的金属氧化物薄膜,如二氧化钛和氧化锌,以及复杂的金属氧化物薄膜,如钛酸锶和氧化铟锡。

由于金属氧化物具有广泛的物理特性,使得其在光伏器件、气体传感器、微电子学和腐蚀保护器件等领域具有广泛的欧洲杯足球竞彩应用前景,因此金属氧化物正逐渐成为重要的技术材料。然而,用期望的化学成分生产高质量的金属氧化物薄膜是昂贵和具有挑战性的。金属氧化物薄膜通常是通过物理或化学气相沉积技术生长的,这需要一个真空系统。这两种技术都能产生高质量的金属氧化物薄膜,但沉积系统的成本和只在平面上涂膜的能力限制了它们的潜在应用。化学溶液沉积法,如溶胶-凝胶法,资本密集度较低,但许多金属氧化物不能使用该技术沉积。

PAD工艺有别于其他涂层技术,因为其成本低,能够覆盖大面积和不规则表面。该技术不仅使用了100%的源材料,而且能够控制沉积材料的化学相、微观结构和物理性能。欧洲杯足球竞彩

该实验室氢气和燃料电池研究所所长比尔·图马斯(Bill Tumas)说:“这项新技术最有希望的方面可能是可以随时制造的材料的潜在多样性。欧洲杯足球竞彩PAD有能力快速探索广泛的新材料。”欧洲杯足球竞彩

PAD金属氧化物薄膜涂层技术的开发,涉及了许多洛斯阿拉莫斯科学家的专业知识,包括材料科学与技术部超导技术中心的贾全西、林源、王海燕和Stephen Foltyn,以及Mark McCleskey,欧洲杯足球竞彩欧洲杯线上买球化学部的安东尼·伯勒尔和加文·科利斯。该团队还包括来自华盛顿州普尔曼华盛顿州立大学化学系的Alexander DeQuan Li。

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