LayTec很高兴宣布成功安装EpiCurveTT德国爱思强公司股价紧密耦合的莲蓬头(CCS)金属系统弗劳恩霍夫应用固体物理研究所(IAF)在弗莱堡,德国。
第一次一个莲蓬头EpiCurveTT是安装在系统只有一个窗口!在过去,因为这种系统的视窗是如此之小,我们用2单独的窗口:一个用于曲率和一个用于温度和反射率测量。
EpiCurve TT在AIX®在弗莱堡IAF CCS系统
现在,由于改进设计,所有三个参数测量通过一个标准的AIX CCS视窗。:王博士和他的团队在甘IAF将使用工具的增长控制在硅基板。同时现场监控晶片温度、反射率和曲率将用于工程师外延层的压力。
王博士评论道:„新传感器将帮助我们获得平坦,无氮化镓层硅基质为未来复杂的电子设备。”