最近，Laytec.推出Epicurvett AR（高级分辨率），用于在外延生长期间的非球面曲率分量的测量。该工具是行星和其他气箔旋转MOCVD系统的完美解决方案，其中旋转晶片的方位角是未知的。
没有AR的标准Epicurvett沿着主轴（图2中的较大弓蓝色箭头）或沿着短轴（小弓 - 红色箭头）随机测量。在行星反应器中，旋转阶段是未知的。结果，信号看起来“嘈杂”（图上的红线）：它在方位角非球面弓的最大值和最小值之间振荡。
使用常规EPICURVE®TT（红色）和EPICURVE®TT（黑色）的测量原理和具有高级分辨率的EPICURVE®TT）和曲率测量和曲率测量。新工具消除了信号中的非球面失真。
新的AR工具沿两个垂直垂直轴测量曲率，并消除了2nd阶四方弓形效应。
在该图中，黑线显示了新的Epicurvett AR传感器的曲率信号。具有前进分辨率的工具的信噪比将曲率信号从±8km-1（红线）到±0.2km-1（黑线）提高到±0.2 km-1（黑线），并通过消除非球面贡献来仅测量主要曲率分量。
即使可以通过分析高级分辨率信号来提取非球面的数量。有关详细信息，请向我们询问关于Epicurvett AR的新申请说明。