牛津仪器等离子体技术，蚀刻，沉积和生长系统的领导者最近收到了来自印度印度科学研究所（ISC）的纳米电子学（CEN）的卓越中心的三种等离子体蚀刻和沉积工具的命令。欧洲杯线上买球这三个System100工具将位于CEN的最先进的纳米制造工厂的新型洁净室，由两种PlasmApro System100 ICP Cobra蚀刻工具和一款PlasmApro System100 PECVD工具组成。
作为一种灵活而强大的等离子蚀刻和沉积工艺解决方案，System100的负载锁定晶圆入口允许快速晶圆交换，最宽的工艺气体范围和扩展的工艺温度范围。为化合物半导体、光电子、光子学、MEMS和微流体应用提供最大的工艺灵活性，PlasmaPro System100等离子蚀刻和沉积工具可以有多种配置，包括由IISc订购的ICP和PECVD选项。
两个ICP-RIE系统和PECVD系统已配置为CEN, IISc(多用户国家设施)所需的最广泛的流程。蚀刻化学包括蚀刻多晶硅、氧化硅、氮化硅和各种金属的能力。除了硅加工，该工具还配置了用于高速、高频功率晶体管的GaAs和GaN加工能力。PECVD系统可将应力工程氮化材料用于MEMS传感器、低温氧化物和非常厚的多晶硅膜作为惯性传感器的结构材料。
IISc电气通信工程系的navakanta Bhat教授评论道:“我们选择订购牛津仪器的系统，是因为其卓越的过程一致性，以及该公司提供的高水平支持。我们对员工的技术能力和他们与客户合作的意愿留下了特别深刻的印象，他们视客户为合作伙伴。
我们的新工厂占地14000平方英尺，将是全国同类工厂之一。纳米科学与工程中心(CeNSE)新建筑(90000平方英尺)内的洁净室。欧洲杯线上买球最先进的洁净室将容纳最好的工具，以满足研究人员的不同需求，而牛津仪器的系统提供了我们需要的过程和前沿技术的广度。牛津仪器的系统将使IISc能够在许多领域开展前沿研究，包括纳米电子学和MEMS，并帮助我们实现创造可被工业商业化利用的技术的目标。”
Mark Vosloo，牛津乐器的销售和客户支持总监血浆技术很高兴为此顺序很高兴，“这一年度从重要的印度研究所的一年中的第二次订单通过我们通过先进的技术和服务来满足客户需求的能力，同时拥有他们能够依靠我们创新的世界级产品的经验。“