2010年10月18日
ζ仪器公司。具有成本效益的领先供应商,表面微米尺寸精密测量解决方案分析,宣布博世已经选择了泽塔- 200光学测量系统支持高级研究和开发活动在其“企业研究和推进工程”(企业研究)在斯图加特,德国。
全球领先的技术和服务供应商选择的表面ζ的3 d成像和计量解决方案以满足严格的测量要求与博世的研发活动,包括光电和MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems)进步。
ζ- 200显微镜系统利用ζ的专利Z-Dot技术提供快速三维成像深度高纵横比的特性,使收集的身高、粗糙度、尺寸、角度和体积,所有没有联系或破坏样品。由于它的非破坏性测量功能,用户能够快速地描述高纵横比的特性,加速产品开发流体微通道制作。它还允许复杂的成像,非表面有很高的粗糙度和/或低reflectivity-especially协助太阳能电池研究通过检查表面成为可能,都是粗糙和反射很少的阳光。
Z-Dot技术光学成像系统能够快速地图三维微米尺寸的表面特性。在不到一分钟,ζ- 200垂直扫描表面最小增量为15纳米提供准确的测量样本Z以及X和y轴。大多数测量系统测量这些表面有困难,或需要复杂样本对齐和准备。ζ- 200是一个易于使用的光学测量工具,它需要更少的培训和维护比alternatives-providing更快和更好的实现价值竞争的工具。
“泽塔- 200我们能够快速、可靠地测量太阳能电池和MEMS结构,带来更高的效率和更低的成本制造过程,”说,托马斯·瓦格纳博士在博世企业研究硅太阳能电池。“我们评估众多计量选项和选择了泽塔- 200手;它使我们的研究团队呆在各自领域的前沿,通过提供关键任务计量反馈及时和有效的方式。”
再加上特定于应用程序的软件,ζ- 200提供了成像和测量功能优于激光共焦显微镜。此外,泽塔提供真彩色图像,降低了系统成本,为降低维护提供了一个简单的整体设计和易用性。其他解决方案如interferometer-based显微镜系统需要细致的样本对齐和有困难或无法有效衡量deep-feature如用于MEMS样品,在扫描电子显微镜(sem)提供高分辨率成像,但需要长时间,经常破坏,样品制备和不能提供真彩色图像。
总裁Rusmin Kudinarζ仪器指出,“Z-Dot技术提供了一个数组之间的表面精密测量的优势,是次转会太阳能电池和生物技术的应用程序。我们很高兴,博世已经发现我们的解决方案是最好的在课堂上和荣幸供应他们的计量过程的这一重要组成部分。”
ζ仪器系统是唯一的提供多功能计量特性在一个集成的测量工具。膜厚度的ζ- 200有选项photo-spectrometer, Nomarski / q-DIC低对比度成像光学,和各种样品处理配置。这些选项允许用户测量透明超薄薄膜等样品抗反射涂料、photo-resists跟表面和纳米特性,以及在多个物理方向测量样本。