Fraunhofer研究订单从ev组的自动晶圆粘合剂和面罩对齐器

ev组(evg)是MEMS,纳米技术和半导体市场的晶圆粘接和光刻设备的领先供应商,今天宣布收到来自Fraunhofer研究机2020欧洲杯下注官网构的电子纳米系统恩斯(Chemnitz,德国)的首次订单。

Fraunhofer Zhas购买了EVG6200NT自动掩模对齐器和EVG540自动晶片粘合剂,并将采用灵活的多工艺EVG系统,用于掩模光刻,紫外线纳米压印光刻(UV-NIL),粘合对准,粘接和热压花(HE)。将使Fraunhofer ENA能够将产品晶片加工直径高达200毫米的产品晶片,以11月初提供。

Fraunhofer ENAS与开姆尼茨理工大学的微技术中心密切合作,运营着最先进的洁净室设施。该研究所与世界各地的主要客户密切合作,专注于MEMS/NEMS、后端(BEOL)微纳电子工艺、3D IC集成和可靠性的工业研究。据Fraunhofer ENAS的教授兼主任Thomas Gessner博士表示,这家著名机构选择EVG系统的主要原因是它们提供的先进技术能力。Gessner教授说:“NIL和热压印是扩展我们先进研发努力的关键过程。”“EVG系统使我们能够比其他竞争工具更好地实施这些技术。现在,我们可以在更大的晶片上进行全区域的纳米印迹,以及光学对齐的UV-NIL和HE,进一步扩展我们支持广谱工艺的能力。”

EVG最近宣布的软分子尺度UV-NIL,或SMS-NIL,技术模式的超高分辨率特性下至12.5 nm的EVG的已证实的UV-NIL系统。该技术使用柔软的聚合物工作印版,以避免损坏昂贵的母印版,因此,与其他纳米图版技术相比,处理成本显著降低。EVG报告说,SMS-NIL已经在工业环境中用于CMOS图像传感器、微透镜模塑和其他光学应用。

EVG公司技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示:“来自Fraunhofer ENAS等领先研究合作伙伴的订单,突显了我们不断努力开发和实施新的前沿技术的价值,以补充和扩展我们系统的应用。”“我们工具的灵活性不仅使Fraunhofer ENAS能够在两个系统上进行多种光刻、定位和粘接工艺,而且通过两家公司的密切合作,EVG独特的SMS-NIL技术以及热压花工艺等工艺将得到实施和进一步改进。”

为了进一步支持其在MEMS领域的专业技术,EVG今天宣布了另一项MEMS市场的关键订单——挪威MEMS传感器制造商sensor Technologies AS订购了一款用于热成像制造的EVG Gemini。EVG还在其军火库中增加了另一种键合器,推出了新的EVG520L3半自动化、高真空晶圆键合系统,适用于3D IC、MEMS和CMOS兼容性的金属键合。

有兴趣了解更多关于EVG的SMS-NIL技术和广泛组合的晶圆粘合和光刻设备的人员在Semicon Ouropa,2010年10月19日至21日的Semicon Ouropa,2010年10月19日至19日,德累斯顿2020欧洲杯下注官网, 德国。

引用

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  • 美国心理学协会

    ev组。(2019年2月10日)。Fraunhofer研究订单从ev组的自动晶片粘合剂和面罩对齐器。Azom。从Https://www.wireless-io.com/news.aspx?newsid = 25175从//www.wireless-io.com/2000。

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    ev组。“Fraunhofer研究订单自动晶圆粘合剂和来自ev组的掩模对齐器”。氮杂.2021年8月3日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=25175 >。

  • 芝加哥

    ev组。“Fraunhofer研究订单自动晶圆粘合剂和来自ev组的掩模对齐器”。Azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid = 25175。(访问03,2021)。

  • 哈佛大学

    EV组。2019。Fraunhofer研究订单从ev组的自动晶圆粘合剂和面罩对齐器.Azom,查看了03年8月2021,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid = 25175。

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