氧化新工艺有助于整合整个结构在硅衬底上

在寒冷的天气,许多孩子忍不住呼吸凝结到一个窗口和写作。

现在想象的窗口作为电子设备的平台,作为特殊的导电气体凝结,字母作为纳米线的线。

领导的一个研究小组由威斯康星大学麦迪逊分校材料科学与工程教授Chang-Beom加工证明方法欧洲杯足球竞彩本质上欧洲杯线上买球利用这一概念广泛应用于纳米电子设备,如新一代内存或微小的晶体管。发现是10月19日发表的《自然通讯》杂志上。

加工的研究小组已经开发了基于电子技术生产结构氧化物可以集成在硅substrate-the最常见的电子设备平台。

“我们已经开发出的结构,以及其他氧化物电子设备,可能是非常重要的在纳米电子应用程序中,当与硅集成,“加工说。

“氧化”一词是指一种化合物与氧气作为一个基本元素。氧化物包括数以百万计的化合物,每个都有独特的属性,可以在电子和纳电子学是有价值的。

通常,氧化物材料不能生长在硅氧欧洲杯足球竞彩化物和硅有不同,不兼容的晶体结构。加工的技术结合了单晶expitaxy, postannealing氧化和腐蚀过程,允许结构驻留在硅显著成就,能够解决一个非常复杂的挑战。

新的进程允许团队形成一个结构,它将three-atom-thick镧氧化铝层接触锶钛氧化物,然后把整个结构的硅衬底。

这两种氧化物是很重要的,因为一个“电子气”形成的界面层,和扫描探针显微镜可以使气体层导电。显微镜的尖端被拖在表面纳米级精度,留下一个模式的电子,使one-nanometer-thick气体层。使用提示,加工的团队可以“画”的这些电子,形成导电纳米线。研究人员还可以“抹去”这些线拿走电导率区域的气体。

为了集成硅的氧化物晶体必须有一个低水平的缺陷,和研究人员必须有原子的控制界面。更具体地说,锶钛氧化物的顶层已经完全纯粹和完全匹配层的氧化镧底部的镧氧化铝;否则,不会形成氧化层之间的气体层。最后,整个结构被调谐与底层硅兼容。

来源:http://www.wisc.edu/

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