设备功能电脑芯片小40纳米(纳米)wide-less宽度的1000,比人类头发可以现在是可靠地计量由于新的测试结构由一个物理学家团队,工程师,并在商务部的统计学家国家标准与技术研究院(NIST)、SEMATECH和其他合作者。测试结构复制参考资料,将允许更好的校准工具监控微处理器的制造和类似的集成电路。欧洲杯足球竞彩
新的测试结构的顶点,NIST的逾四年努力提供标准的“统治者”测量最窄的线性特性,可以蚀刻控制芯片。NIST的统治者正是蚀刻的晶体硅线宽度从40纳米到275纳米。盒子形状的硅晶体中原子的间距是使用像散列是一把尺子来衡量这些测试结构的维度。行业可以使用这些资料来校准工具可靠地测量microprocesso欧洲杯足球竞彩r-device盖茨,例如,在芯片控制电荷的流动。
“我们已经赶上了半导体产业路线图线宽参考材料尺寸与这项工作,”理查德·艾伦说,NIST的研究人员参与项目之一。“随着半导体产业,一个全速运行刚刚跟上。”
新的参考资料,配置为9毫米(mm) 欧洲杯足球竞彩11毫米芯片嵌入到硅晶片,现在被SEMATECH成员公司评估。相比一批样机试验结构由NIST在2001年,新的参考资料提供了一个广泛的参考特征尺寸,包括一些更窄,测量更精确(小于2纳米的不确定性比14 nm之前)。欧洲杯足球竞彩在缺乏这样的参考资料的情况下,公司内部校准测量工具使用标欧洲杯足球竞彩准,这可能既不准确也不一致。
新材料将公开公布欧洲杯足球竞彩在车间会面由NIST SEMATECH 3月2日,与一个学报(国际光学工程学会)会议在圣何塞,加利福尼亚。SEMATECH成员公司已经邀请提出原型的评估测试的结果结构在这次会议上。测试结构可以分布式NIST-traceable工件在半导体产业的发展最终用户计量工具,或者私人公司可以生产和分发测试结构基于NIST的技术。
新硅参考资料的结果的一系列技术和程序上的创新。欧洲杯足球竞彩首先,一排排的矩形特征蚀刻成一种特殊的硅晶片的原子排列在一个常规格子设计。特性是高约150海里,排列的六个特征,每一个都有不同的宽度。晶格甚至极其边缘,但NIST修改了腐蚀过程的特性甚至平滑,这有助于提高测量精度。
使用四个不同类型的microscopes-optical,扫描电镜(SEM)、原子力(AFM)和高分辨率扫描透射显微镜(HRTEM)——硅参考特性首先筛选识别那些近似正确的尺寸,然后仔细测量。校准过程中的一个关键步骤是一束电子穿过硅线到探测器上。交替黑暗与光明平行线上探测器标记列硅原子的电子衍射。然后技术人员手工计算这些标志。从这个数,可以计算出参考的尺寸特性,因为在图像匹配的行数的数量在晶体硅原子,其间距总是能够提供国际标准完全相同的长度。这些数据可以用于校准其他显微镜测量的工具。
SEMATECH,这个项目是一个合作NIST VLSI标准Inc .,圣何塞,加州和Accurel系统国际公司,桑尼维尔。NIST人员处理布局、蚀刻、AFM成像,和点阵平面计算任务;模式的一个关键步骤硅线在超大规模集成电路测试结构是由标准;扫描电镜成像是由SEMATECH和NIST;并介绍了成像是由Accurel系统。
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