领先的系统制造商牛津仪器等离子体技术最近，该公司向世界领先的太阳能电池制造商罗伯特•博世(Robert Bosch)发运了一套五模组集群系统。System100Pro沉积工具是一个“Hex Handler”，可提供多种沉积技术，并允许在不断开真空的情况下进行多个工艺步骤。
牛津仪器的聚类系统为处理程序和工艺模块提供了高真空选择，从而降低了本背景污染水平，并能够聚类不同的沉积技术。博世提供的系统还包括高达700ºC的高温衬底表选项，软件中功率倾斜的灵活性，以及低功率等离子打击选项，从而最大限度地减少过程开始时的潜在损害。部分技术是在欧盟支持的FP7-Energy-2009-1 - 241281‘ThinSi’合同下开发的。
Mark Vosloo，销售和客户支持总监，牛津乐器等离子技术评论，“这五个模块工具为如此引人的客户允许我们成功将多种技术集成到集群中，例如运行ALD和等离子CVD氧化铝的能力沉积。随着可再生手段的趋势越来越拓展，我们将自己作为越来越多的PV研发市场建立了自己的主要供应商。“
博世总部位于德国斯图加特，开发、生产和销售以硅片和薄膜为基础的硅太阳能电池，其特点是高、稳定的输出和窄的输出公差。该公司已经购买了Oxford Instruments集群工具用于研究和开发。