Epicurvett在基于GAN的外延期间提供精确的原位应变工程

基于GAN的硅(SI)的外观外观非常具有挑战性,因为GAN和Si之间的热不匹配,这会在冷却后引起极端的拉伸应力。对于此类应用Laytec的Epicurvett是精确的原位应变工程的首选工具。德国玛格德堡奥托隆格里克大学(OVG)的Alois Krost教授和他的团队应用了该工具,通过使用锗(GE)作为N型植物代替SI来开发一种新的应变工程方法。

该图显示了两个不同掺杂的GAN/SI样品上的曲率测量。LT-Aln Interlayer生长后的向下斜率表明压缩应力。随着添加Si作为掺杂剂,斜率反转(实线),Si掺杂会导致拉伸应力和在冷却样品裂纹期间。但是,在GE掺杂的情况下,曲率斜率保持不变(虚线),并且样品保持不含。

用Si掺杂(实线)和GE掺杂(虚线)的gan/si的epicurve®TT(虚线)的原位曲率测量。

与Si掺杂相比,Ge掺杂GAN的光致发光光谱显示出双倍的发光强度。这证明了大约的良好材料质量。1.6“厚的木结构。

根据OVG大学的Armin Dadgar的说法,“用替代掺杂剂涂涂木的想法很古老。但是现在,使用混合掺杂剂的应变控制和工程,Epicurvett为Gan/Si设备应用提供了新的冲动。“

引用

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    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。(2019年2月9日)。Epicurvett在基于GAN的外延期间提供精确的原位应变工程。azom。于2022年10月31日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid = 28019检索。

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    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。“ Epicurvett在基于GAN的外观下提供精确的原位应变工程”。azom。2022年10月31日。

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    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。“ Epicurvett在基于GAN的外观下提供精确的原位应变工程”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=28019。(2022年10月31日访问)。

  • 哈佛大学

    Laytec-用于薄膜应用的原位监视传感器。2019。Epicurvett在基于GAN的外延期间提供精确的原位应变工程。Azom,2022年10月31日,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=28019。

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