Veeco仪器公司。日前,美国联合微电子公司(UMC)和Epistar在中国的合资企业联合LED山东公司宣布,该公司已为Veeco的TurboDisc(R) K465i(TM)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统下了一份多工具订单。该系统将安装在中国济宁市的LED工厂,用于其高亮度发光二极管(HB LED)的生产。
董事会副总裁Tzu-Chi Wen博士评论道,“我们很高兴地为我们的生产设施添加了Veeco系统,因为他们在MOCVD技术领导。K465I提供了流程性能和最低所有权成本需要将ULED的位置作为各种照明应用的LED设备提供商。“
复合半导体执行副总裁兼Veeco MOCVD运营主管Bill Miller博士表示:“我们很高兴联合LED选择了Veeco的K465i系统作为他们的生产基地。我们的系统提供了关键的优势,包括最高的资本效率和卓越的收益,这将有助于在不断增长的中国市场建立领导者的地位。”
K465i具有卓越的均匀性和出色的运行-运行可重复性,经过生产验证的K465i扩大了Veeco在资本效率方面的领先地位——对于高产量LED制造商来说,资本效率是每天每一美元所需的优质晶片数量。K465i提供易于调整的快速工艺优化的晶圆尺寸高达8英寸和快速的工具恢复时间后的维护。