发起一个新的专利热阱爱德华兹应对泵挑战沉积透明导电氧化物(TCO)薄膜太阳能制造业。
液体的热陷阱是为热分解开发二乙基锌,存款TCO薄膜材料在薄膜太阳能生产。在沉积过程中,未反应的液体二乙基锌进入真空泵和分解。这反过来大衣泵的表面,大大降低了泵的工作寿命。爱德华兹的解决方案克服了这个问题,延长泵维修间隔,提高生产率,提供最低的拥有成本。
早些时候,太阳能电池制造商已使用TCO薄膜产生氧化锡铟。等离子体气相沉积过程用于存款的电影。但是现在,他们转向氧化锌薄膜沉积的CVD过程。TCO薄膜制成的氧化锌增强光捕获技术。
爱德华兹在沉淀提供了一个双管齐下的方法来解决这一挑战TCO薄膜。专利热陷阱是第一层,防止液体二乙基锌进入流程泵。第二个方面是iXH严酷的过程泵内部工作温度最低,这有助于减少热分解速率。
气体的热陷阱包括更换墨盒从流程室通过之前进入真空泵。可更换墨盒加热到温度优化二乙基锌液的分解。这些墨盒在30天内可以更换一次,他们很容易重用和清洁。爱德华兹的专利热陷阱可以扩大真空泵维护周期从一个星期到近6个月。
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