牛津仪器宣布推出PlasmaPro Estrelas100,新的深硅蚀刻技术提供业界领先的过程性能,MEMS市场和提供灵活的解决方案。
考虑到研发市场,PlasmaPro Estrelas100提供最终的过程中的灵活性。纳米和微观结构可以作为硬件设计与实现的能力运行博世和低温腐蚀技术在同一室。从光滑的侧壁流程到高腐蚀率过程的PlasmaPro Estrelas100了确保可以实现各种MEMS应用程序,而不需要改变硬件室。
的开发和商业化新微电子机械系统(MEMS)正在成为现实,传统的加速度计等设备,采用陀螺仪和麦克风继续增加在许多消费电子、显示器和汽车应用。微机电系统可以提供一个解决方案,有一个设备或传感器小型化要求。设备研发阶段包括新兴能源收获;扬声器;射频识别;微型投影机;振荡器;微型燃料电池;和自动对焦技术在别人。
“牛津仪器等离子技术继续提供技术,解决现有和新兴应用程序在MEMS市场,”评论马克Vosloo牛津仪器等离子技术销售总监,”与广泛的流程和应用程序投资组合,我们的技术支持的许多应用程序确定的今天和明天。19年来MEMS研发经验的我们了解市场,并满足客户的需求为他们提供最创新的工具。”
通过优化硬件和低拥有成本过程控制,再加上出色的全球客户支持,意味着牛津仪器继续为他们的客户提供一个优秀的产品。
这一最新系统开发加强了牛津仪器公司的目标是新一代工具和系统的领先供应商的工业和研究市场,基于我们的分析能力和控制在最小的范围内。公司使用创新智能科学变成世界级的产品支持研究和产业应对21世纪的挑战。欧洲杯线上买球