3 m公司,世界领先的供应商的化学物质平面化(CMP)垫护发素为半导体和固定磨料磨具,宣布完成3 m的一个主要发展实验室和洁净室位于总部在圣保罗,明尼苏达州。扩大包括一个300毫米CMP计量产品和应用程序开发工具和缺陷。这使得3 m唯一垫护发素供应商为300 mm晶圆测试和内部功能晶圆缺陷检查。
一个应用材料300毫米欧洲杯足球竞彩反射CMP工具允许3 m模拟客户的300毫米工艺条件为开发和测试新的CMP垫护发素和固定磨料产品。此外,KLA-Tencor Surfscan SP2晶片检查工具给3 m公司内部能力开发新CMP耗材,超低缺陷的性能最先进的半导体工艺。
“300毫米CMP的工具和Surfscan SP2晶片检查工具演示3 m的继续致力于为半导体行业提供新的和创新的材料,”菲利普·克拉克博士说,3 m的实验室经理。欧洲杯足球竞彩”这些新功能我们可以帮助客户实现过程使垫空调解决方案更快,即使是最先进的流程节点。”
半导体加工解决方案和技术,从3 m,提供production-proven方法来帮助满足当今最苛刻的半导体CMP的要求。与传统CMP浆垫护发素流程和独特的固定磨料磨具、3 m产品提供优越的整平,一个更稳定的过程和低缺陷率。
关于3 m CMP垫护发素的更多信息和固定研磨剂或其他产品和服务从3 m电子市场材料部门的访问欧洲杯足球竞彩www.3M.com/electronics。