XEI科学公司， 1100多个vacutron®de - contamination等离子清洗系统的制造商，用于电子显微镜和其他真空室，宣布发布他们的新vactron®CombiClean™系统，该系统简化了等离子体自由基源的控制和操作，用于sem、tem和fib中使用的电子柱的柱和桌面标本清洗。
主要在电子柱(sem, tem和fib)上使用了超过1100个真空净化系统，XEI Scientific正在扩大其有效的下游等离子清洗技术的应用。今年早些时候，XEI推出了vactron®SoftClean™腔室，允许用户将vactron等离子自由基源(PRS)安装到桌面真空腔室，在样品、支架和其他部件被放置在电子柱前，提供同样有效的去除有问题的碳氢化合物污染。
使用射频和专利空心阴极电极，真空系统产生等离子体，包含在PRS模块。反应性气体自由基产生并被吸入样品室，在那里它们通过化学方法将不必要的碳氢分子分解成更小的组分，然后很容易被仪器的真空系统清除。
在显微镜和显微分析8月7日至11日在田纳西州纳什维尔举行的会议上，XEI Scientific将介绍vactron CombiClean™系统，以简化对列和桌面上多个PRS模块的控制和操作。有了新的集成控制器和真空室，操作人员可以很容易地通过系统前面板选择哪个PRS是主动的，并无缝切换柱清洗和桌面净化的部分，以供显微镜使用。
其他优点包括多个插入端口，用于清洗TEM样品支架。清洗室可以作为一个安全的，长期的储存容器的净化样品。它有一个大的圆形盖子，方便访问插入样品，而干燥的氮气清洗防止回流后等离子清洗和样品存储期间，允许使用旋转叶片泵。这种新型清洁解决方案价格诱人，占地面积小，延续了XEI近20年的传统，为提高电子和离子成像工具的性能提供具有成本效益和创新的解决方案。