牛津仪器在离子束蚀刻上释放白皮书

作为离子光束技术和系统制造的领导者，牛津仪器等离子技术的应用和技术团队定期生产技术白皮书，而最新的离子光束蚀刻也可以使用。

白皮书由塞巴斯蒂安·波兴（Sebastien Pochon）博士和高级离子光束应用和技术专家戴夫·皮尔森（Dave Pearson）博士撰写，《白皮书》介绍了对离子束蚀刻技术的评论。与等离子蚀刻相比，它考虑了将该技术用于蚀刻过程的主要应用和优势。首先描述了如何生成离子光束的概述，然后进行了对离子束技术的过程应用的演示和讨论。

白皮书可以通过联系牛津仪器，在[电子邮件保护]

评论牛津仪器等离子技术的应用团队经理罗伯特·冈恩（Robert Gunn），“为了提供最佳的离子光束和等离子系统，我们经验丰富的应用工程师和技术人员的团队继续开发和研究其专业知识领域，并作为一个结果，除了有6000多种食谱的过程库外，我们还为客户提供了许多技术论文，例如这张白皮书。”

作为离子光束技术和系统制造领域的全球领导者，牛津仪器的离子光束工具范围包括IONFAB300Plus，可在最大化系统利用率的同时，为超高质量的光学薄膜以及最大化的系统利用而进行蚀刻和/或沉积的灵活性，以及OptoFab3000，专门用于高质量的光学应用。