2005年5月20日
从S-3400N的S-3400N可变压力SEM引入了一种新的5段半导体反向散射电子检测器，并引入了快速响应率日立高科学。检测器可用于可变压力和高真空成像。
该新检测器具有出色的灵敏度，尤其是在低加速电压下。高灵敏度允许在BSD成像中使用较小的斑点尺寸和梁电流，从而改善分辨率，并在精致的未涂层标本上降低梁损伤的风险。该检测器还以电视扫描速率运行，从而更容易找到所需的视野。
该检测器具有五个独立选择的段，而不是在常规多段检测器上发现的四个段。选择适当的片段组合可以使此通用检测器在许多不同的成像模式之间切换。这不仅提供了与反向散射电子成像相关的传统地形和原子数对比度的成像模式，而且第五段也允许检测器产生3-D图像。
S-3400N是Hitachi范围可变压力扫描电子显微镜的最新添加。为可变压力成像的多功能性添加了一个极大的标本室。这不仅可以在分析位置容纳高达80 mm厚度的样品，而且还可以同时安装能量分散X射线（EDX）和波长色散X射线（WDX）光谱仪，以进行全面的元素分析。S-3400N还具有独特的自动光束对齐系统，旨在无论操作条件如何，都可以很好地焦点。
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