Veeco将向韩国晶圆制造商提供MOCVD系统

LG Siltron, an epi wafer manufacturer based in South Korea, has chosen Veeco Instruments’ gallium nitride metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) system called TurboDisc K465i for manufacturing gallium nitride on silicon (GaN-on-Si) wafers for use in LED devices and power electronics.

由于传统的硅基功率晶体管已接近极限，氮化镓现在是实现低成本快速能量转换的首选材料。包括智能电网、太阳能、风能和混合动力汽车等绿色技术在内的一系列行业，正在加速对基于氮化镓的节能电力电子产品的需求。GaN-on-Si也可以提供一种可选的方法来生产led。

据LG Siltron研发总经理Hee Bog Kang介绍，TurboDisc K465i MOCVD系统是该公司的第一个GaN-on-Si晶圆制造系统。除了提供前所未有的产量优势，该新系统的TurboDisc技术还提供更高的同质性和低颗粒数，这是制造GaN-on-Si晶圆的关键。Kang补充说，该公司感谢Veeco Instruments的大力支持，并预计未来会有更多此类合作。

Veeco Instruments的流程设备执行副总裁Jiriam J. Mil2020欧洲杯下注官网ler表示，该公司对LG Siltron选择其K465I的选择。K465I提供卓越的收益率和低的所有权。Gan-On-Si Power Device市场不断增长，K465i提供了多种优点，包括提高生产率，降低生产成本和增强的设备性能。

来源：http://www.veeco.com/