基于英国的兰卡斯特大学正在填充其新的世界级兰卡斯特量子技术中心(LQTC)的一部分牛津仪器公司等离子体系统是其物理科学发展战略的一部分。欧洲杯线上买球
牛津仪器公司(Oxford Instruments)的等离子体技术(Plasma Technology) PlasmaPro NGP80和PlasmaPro System100 ICP Etch系统是经过验证的多功能等离子体技术,它们的灵活性和适用性使多用户LQTC能够在其洁净室中运行许多应用程序。牛津仪器的系统是LQTC的理想选择,拥有超过6000个食谱的广泛过程库和卓越的客户支持,服务和培训包。
兰开斯特大学半导体物理与纳米结构研究小组负责人托尼·克里尔教授评论道,“这些新的牛津仪器蚀刻工具将使我们能够在一系列半导体上运行干等离子体蚀刻和纳米图案,包括用于中红外光源和探测器的窄间隙锑化物和稀氮化物。它们还将被用于开发新型太阳能电池、量子点存储器、纳米电子结构等。
Krier教授继续说:“新的洁净室设施为工业和学术研究人员提供了一个重点,他们有兴趣制造纳米结构,使他们能够研究量子现象。我们选择了牛津仪器,因为其优秀的技术规格和良好的声誉的加工工具支持的专家专家。”
“牛津工具成立于科学进入市场,我们很高兴成为英国科学研究能力这一重大发展的一部分”,牛津仪器血浆销售和客户支持总监Mark Voslo欧洲杯线上买球o说:“Mark Vosloo说:”Mark Vosloo“Mark Vosloo说技术,“像LQTC一样,牛津仪器使用创新将智能科学变为世界级产品,满足21世纪及以后的需求。”欧洲杯线上买球