用于实时等离子体监测的质谱仪

Hiden分析质谱仪提供直接实时等离子体监测，用于分析处理离子和工艺中性物种，从10E寻址压力范围^-3MBAR到大气和所有最新，最快的8个PC接口的界面。所有系统都与Windows 7和XP操作系统完全兼容。

EQ / PS系列提供可选的阳性/负离子或阳性离子测量的工艺离子强度，质量和离子能量，脉冲离子计数检测器提供完整七十年的连续动态范围。原子质量范围高达1000 AMU，能量范围为+/- 100eV和+/- 1000eV。先进的低直径离子转移光学器件可以在处理室内深入渗透到750mm。多种扫描模式提供系统设置优化的所有关键参数的扫描，包括质量范围的扫描，处理离子能量，电子乘法器电压抵抗离子强度。内部电子轰击离子源能够进行中性物种的电离。

使用涡轮分子泵浦的压力降低级用于维持UHV环境中的质谱仪操作 - 单级，双级或三级依赖于工艺压力。系统选项包括磁屏蔽，集成的驱动电极，用于电阴性物种的电子连接模式，用于高功率应用的线性运动驱动器和水冷却。应用包括不同的等离子体蚀刻，沉积，涂层和工艺开发区域，包括大气等离子体针性能量化。