Aixtron的两个能够在歧管6“或8”配置中能够操作的两个新的MOCVD系统,并委托位于比利时的Hasselt的Epigan的高科技专用工厂。
EPIGAN是一种初创公司,生产III-氮化物外延材料。该公司将利用反应堆进行6英寸GaN-On-Silicon晶片的商业化,以用于各种电力和RF电子设备,用于开发高级200毫米Gan-On-Silicon晶片。Aixtron Europe的服务支持团队安装并委托了该设施的系统。
Epigan的首席执行官Marianne Germain博士表示,该公司是IMEC的旋转。完成其资金回合后,本公司已准备好部署建立生产能力的战略计划。公司和Aixtron已向Gan-On-Si工作多年,基于这一经验,Aixtron的密切耦合淋浴头系统是满足公司要求的理想选择。EPIGAN团队在IMEC时接触了AIXTRON CCS MOCVD系统,并联合发布了关于GAN-ON-SI晶片的发展的论文。该公司认为,融合其多年的专业知识和Aixtron的先进过程技术和设备将有效地解决高电压200 mm Gan-on-Si晶圆的挑战。2020欧洲杯下注官网
爱思强电力电子项目副总裁兼项目经理Frank Wischmeyer博士评论说,该公司很高兴与EpiGaN合作,因为EpiGaN开发了用于更大面积GaN-on-Si晶圆的材料、工艺和设备。2020欧洲杯下注官网欧洲杯足球竞彩
来源:http://www.aixtron.com.