EV Group是一家为半导体，纳米技术和MEMS行业提供光刻和晶圆粘结工具的公司，已启动了重新设计的，自动化的高量，高量辅助器，EVG150抵抗处理平台。
下一代涂料平台是一个通用处理系统，该系统将旋转涂料模块与EV组的专有喷雾涂层技术结合在一起。
EVG150是通过利用EV Group在喷雾涂料和抵抗涂料技术方面的15年专业知识而开发的。EV组的抵抗处理线适用于直径高达300毫米的晶片。该产品线的一部分的EVG 150平台适用于直径50至200 mm的晶片。新的平台可促进寒冷板，两个热板和蒸气素模块的组合，最多有四个模块用于湿法。EVG150能够执行喷雾涂料，旋转涂层和抬起。增强的可维修性和减少的停机时间是其模块化排列的结果。EV组的计算机集成制造（CIM）框架被用作优化EVG150平台吞吐量的软件平台。
电动汽车组的全面技术促进了高地形表面，通过其超声喷嘴均匀地覆盖。该技术已在EV组的100多个客户站点实施。EVG150平台也包含了Omnispray模块。EVG150可用的另一个模块选项是获得专利的纳米喷雾技术，该技术具有在垂直侧面角度覆盖表面的能力。
来源：http://www.evgroup.com/
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