牛津仪器等离子体技术最近推出了一系列新的系统升级选项，用于他们的前沿蚀刻和沉积工具。
新的升级范围包括：
- X20控制系统，提供出色的扫描速度和处理，从而产生了极其准确的控制和极其精确的数据记录。
- Maglev Turbo取代了当前的传统轴承涡轮泵，可用于卓越的泵送速度，吞吐量高达15％。Maglev Turbo非常强大，提供高性能并加快增加。
- 蚀刻和沉积终点检测选项，用于实现最佳过程条件和结果。光端点使实时腔室清洁端点检测，增加工具的可用性，降低所有权成本。
Mark Vosloo，牛津仪器等离子技术销售、CS和市场总监评论道:“我们致力于提供卓越的售前和售后客户服务。这次升级的目的是为我们的客户提供最新的硬件，使他们有机会改善牛津仪器系统的性能，延长其寿命。”
这些升级为Plasmalab、PlasmaPro和Ionfab系列系统提供了广泛的选择。
牛津仪器等升级选项可以在其网站上找到：www.oxford-instruments.com/Prade.