2002年10月30日
最近订购的自动原子力显微镜(AFM)证实了日本和美国半导体制造商已经初步接受了这项技术。
Veeco仪器今年第三季度发布了第一个Dimension X3D系统。另外两个系统计划在2003年第一季度运往日本。今年早些时候推出的Dimension X3D是第一款为半导体制造提供3D分辨率的无损在线计量工具。
使用Dimension X3D，用户可以对纳米尺度的关键尺寸(CD)进行三维(x, y和z)在线测量，如晶圆上的浅沟槽隔离结构和掩模中的光学接近校正特性。具有测量功能的工具可产生高度重复性的结果，在先进的技术节点中实现特殊的过程控制。
Veeco Metrology总裁Don Kania博士指出:“我们客户最新的批量生产线将包含广泛的新材料，以及下一代光刻技术。欧洲杯足球竞彩
Kania说:“这一趋势推动了我们对三维AFM的极大兴趣。“通过将非破坏性AFM计量技术与3D分辨率相结合，X3D为我们的客户在实现晶圆和掩模制造中的光刻和蚀刻过程的尺寸控制方面提供了明显的优势。”
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