2005年7月18日
制造商的电脑、磁盘驱动器和其他复杂的技术,指导原则是平滑的表面芯片和其他组件,更好的这些设备和产品,本身,将函数。
所以,一些制造商可能会惊奇地发现,一个快速和日益流行的方法测量表面纹理可以产生误导的结果。报道在最近的会议和即将出版的《应用光学,一组国家标准与技术研究院研究人员发现,粗糙度测量用白光干涉显微镜,介绍了在1990年代早期,不同高达80%来自同其他两个surface-profiling方法。
干涉显微镜是用来测量表面高度、长度和空间通过分析干扰模式由两个光束——一个反映在一个参考样本和其他感兴趣的对象。
迄今为止,团队评估共有五个白光仪器从三个不同的供应商。他们比较的粗糙度测量光栅波状的表面和随机表面。
白光干涉仪是与“移相干涉仪相比,使用专门的单色光源,和准确的,但有时是破坏性的,笔分析仪器跟踪一把锋利的探针在表面。后两个工具在协议测试样品的光谱在预期的相移干涉仪的测量范围。测量的相对粗糙的表面,白光干涉仪还产生了结果,密切对应。但对测量表面平均粗糙度在50到300纳米,结果差异很大,峰值约为100纳米。
“差异似乎不相关的特定的白光仪器使用或表面轮廓的随机性,”泰德Vorburger解释道,NIST的表面和缩微过程计量组。
进行了比较研究,努力开发国际标准表面纹理的三维测量。NIST的研究人员目前正在评估理论解释观察到的差异。
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