DOW推出了半导体制造的Ikonic化学机械平面化抛光垫

在2012年末引入其Ikonic™化学机械平面化(CMP)抛光垫平台之后,DOW Electronic Materials是DOW Chemical Company的业务部门DOW Electronic Material,今天推出了其新的Ikonic™2000和Iko欧洲杯足球竞彩nic™3000抛光垫的首批垫子系列。

Ikonic CMP抛光垫平台中的所有垫均设计用于28nm制造节点及以下的使用,Ikonic 2000抛光垫靶向铜屏障,HKMG和Buffing应用程序,以及最初开发的ikonic 3000抛光垫,用于散装铜铜抛光剂。

CMP全球电子材料全球营销总监Colin Cameron说:“我们正在通过新的Ikonic Pad平台推出第一个垫子,为性能设定了新的基准。”欧洲杯足球竞彩“陶氏ikonic抛光垫中使用的新技术将支持客户最先进的流程所需的不断发展的技术要求。”

新的垫子2020H的第一个垫子的缺陷水平明显低于传统垫,同时保持去除率。此外,ikonic 2000系列中的每个垫子都易于适应最佳质地和更长的垫子寿命。这提高了抛光一致性并降低了总体所有权成本。

Ikonic 3040m是Ikonic 3000系列中的第一个抛光垫。与其他散装铜垫相比,该垫可显着减少刮擦缺陷。此外,Ikonic 3040m表现出改善的地形性能和较低的所有权成本。该垫有多个应用程序的配置和选项可用。

“虽然今天推出了ikonic 2020h和ikonic 3040m垫,但每个系列中的其他垫子都在积极开发中,旨在满足各种特定于客户的要求。我们的ikonic平台将一组独特的化学组合与灵活的设计密度相结合,从而使我们能够为客户提供广泛的定制解决方案。”卡梅伦说。

当前可用样品,并与多个客户进行Beta测试。

资源:http://www.dowelectronic欧洲杯足球竞彩materials.com/

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    陶氏化学物质。(2019年2月9日)。DOW推出了用于半导体制造的ikonic化学机械平面化抛光垫。azom。于2022年12月16日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=35581检索。

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    陶氏化学物质。“ Dow为半导体制造推出了ikonic化学机械平面化抛光垫”。azom。2022年12月16日。

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    陶氏化学物质。“ Dow为半导体制造推出了ikonic化学机械平面化抛光垫”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=35581。(2022年12月16日访问)。

  • 哈佛大学

    陶氏化学物质。2019。DOW推出了半导体制造的Ikonic化学机械平面化抛光垫。Azom,2022年12月16日,https://www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=35581。

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