牛津仪器工具和设备的领先供应商,工业和研究,已经被授予一项专利领域的高密度等2020欧洲杯下注官网离子体辅助薄膜沉积。
等离子体增强沉积过程通常降低沉积温度,相比仅由热化学蒸汽沉积过程。使用高密度等离子体源提供了一个显著降低加工温度相同质量的材料,并且可以存款二氧化硅层低于100ºC。这种发展开辟了这种风格的等离子体处理一系列新的基质材料包括聚合物。欧洲杯足球竞彩
欧洲专利EP1889946B1引用了托马斯·格里菲斯和库克作为发明家,披露的方法优化统一使用等离子体传输板到更大的区域。这种技术被用于超过25工具运送由牛津仪器自专利申请提交。
牛津仪器等离子技术的首席技术官迈克·库克博士说,“这个专利覆盖的格兰特高密度等离子体辅助薄膜沉积是一个广泛的知识产权平台的一部分,继续由我们公司开发的。牛津仪器现在有多个专利,知识产权,我们相信这增强了我们在等离子技术领域有影响力的位置。”
牛津仪器等离子技术领导人生产灵活、可配置的精确过程工具和领先的过程,工程微观和纳米结构的可控和可重复的。公司的系统提供过程解决方案的腐蚀纳米大小的特性,nanolayer沉积和纳米结构的控制增长。
关于牛津仪器等离子体技术
牛津仪器等离子技术提供灵活的、可配置的精确过程工具和领先的过程,工程微观和纳米结构的可控和可重复的。我们的系统提供过程解决方案的腐蚀纳米大小的特性,nanolayer沉积和纳米结构的控制增长。
这些解决方案是基于核心技术在plasma-enhanced沉积和蚀刻,离子束沉积和蚀刻,原子层沉积、深硅蚀刻和物理汽相沉积。产品范围从小型独立的系统研发,通过批处理工具和大规模生产加工集群盒对盒平台。