这希登通过引入新的束光学和离子源构型,进一步增强了IG20高光泽气离子枪,从而使束亮度和梁的对比度增加,并显着降低了最终点大小。
对于栅格扫描面积为4x4mm,Ig20同样适合于深度分析和表面成像应用,并且是用于螺旋螺旋体的次级离子和二级中性质谱法的首选气体离子枪,用于螺旋螺旋体和XPS。参数选择和枪支操作完全由PC控制,并且枪支既可以用氧气和惰性气体主要来源运行。
具有相同的光束视频配置可用于操作两个可互换的离子源。优化一种用于一般分析的最大亮度和800NA的束电流,对高动态范围深度分析应用进行了优化,该应用具有最小化的光束散射,并在仅80微米的光束直径内支撑200NA的光束电流。
Ig20离子枪差抽水,包括完整的栅格扫描,中性垃圾箱的掺入,DN-35-cf(直径2.75英寸)汇合型安装法兰以及离子源Yttria涂层YTTRIA涂层的虹膜的简单替换。伴侣产品包括带有铯源的IG-5C金属离子枪和四极了Sims探测器的选择
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