牛津仪器等离子体技术随着PlasmaPro®1000 Astrea蚀刻系统的推出，HBLED公司刚刚宣布了批量蚀刻技术的发展，这是一种针对PSS、GaN和AlGaInP的大规模批量蚀刻解决方案，将为HBLED生产制造商提供高通量和行业领先的拥有成本(CoO)。
本周，牛津仪器HBLED产品经理Mark Dineen博士将在上海LED中国展览会上向参会代表介绍该新系统。
“PlasmaPro1000 Astrea是我们的最终批量蚀刻工具,建立在超过15年的经验作为主要供应商子行业”,马克Dineen博士说,牛津仪器等离子技术的子产品经理,“今天的hbl制造商理由要求高收益,高吞吐量,优化设备质量和低拥有成本。我们的PlasmaPro1000 Astrea大批量蚀刻系统为所有这些提供了解决方案。”
该系统的晶圆批量尺寸从55 x 2 "到3 x 8 "，是专为HBLED材料所需的苛刻化学条件而设计的。欧洲杯足球竞彩PlasmaPro1000 Astrea提供低损伤、高产量工艺，确保客户芯片的最大光输出。这是一个高度可配置的系统，过程室可以作为独立的模块或集群配置，在一个能够支持最多三个过程模块的四边集群工具上可用。
为了确保系统的高可用性和易用性，系统的主要特性和优点包括:
- 行业领先>690mm大面积高均匀等离子体光源
- 490mm电极提供无与伦比的吞吐量从批量尺寸55x2 "， 14x4 "， 7x6 "和3x8 "
- 高电导泵送系统
- 双入口气体入口，便于过程调整
- 最大限度地夹紧晶片冷却
- z -运动电极的终极均匀性
- 可靠的硬件和易于维修性，以获得优异的正常运行时间
牛福德仪器竞争董事丹艾瑞斯董事总经理，“这一先进和创新的系统已经开发出来，以解决HBLED生产用户的严格需求，这些用户不仅需要最新的技术创新，而且还要求我们提供的超级客户支持公司。
作为一种行业领先的等离子体蚀刻和沉积制造商，牛津仪器不断努力改善和发展其系统以提供最终的工具。通过访问我们的独家图书馆超过6000多个流程配方，建于25多年作为领先的等离子刀具制造商，我们的客户保证了一个完整的市场领先备份的优质产品。“