新的pi micos mcs xy精确线性阶段是为工业表面计量学 /显微镜应用而设计的，并结合了鲁棒性和高精度。
新的Pi Micos MCS XY精确线性翻译阶段
具有高分辨率和负载能力的两轴定位器
这种两轴定位系统可以处理45磅的载荷，并且由于其新颖的PIONE干涉线性编码器，仍然可以提供高达5纳米的分辨率，重复性为0.2 µm。1 nm分辨率是可行的，最大速度降低。
有关更多信息并链接到数据表，请访问：http://www.pi-usa.us/news/news_mcs_precision_xy_linear_linear_translation_stage_metrology.php
申请
为了在半导体 /平板设计中的材料研究和地形测量等诸如光学检查诸如光学检查之类的领域中，也很重要。150x150mm的大量清晰光圈在传输光应用中有益。
稳健的阶段在轴上提供102毫米（4英寸）的位置范围，并达到±2µm的直度/平坦度。角度的精度也非常好，偏航仅为±20 µRAD和±40 µRAD。
由PI MICOS的紧凑型SMC Hydra运动控制器驱动，MCS阶段的速度范围从低至1 µm/秒的低至200 mm/sec（8英寸/秒）范围。
运动驱动选项
提供了几种电动机和位置反馈选项。对于不需要闭环操作的应用，提供了低成本的开环步进电动机。有几个闭环版本可用于更高的性能需求：步进电动机，直流伺服电动机和直接驱动电磁非接触线性线性电动机。
直接驱动线性电动机可提供最高速度。极度平滑的运动，在低端，恒定速度向下至单位数微米/秒，使用Pi Micos步进电动机和PI MICOS运动控制器实现。
MCS XY精度定位阶段也可以与线性垂直阶段，旋转阶段和性腺测定摇动相结合。
真空定位器
PI MICOS专门从事兼容的定位系统，从10-3到10-10 Torr。基本上，我们所有的线性和旋转阶段也可以订购以进行真空使用。