的性能希登家族的等离子体诊断工具进一步集成先进的车载计时器实时脉冲等离子体测量,快速闸门MASsoft内完全可控的操作程序。
两个计时器提供“门打开/关闭”和“门增量”周期性与亚微秒浇注决议100纳秒,逐步与每个等离子脉冲数据采集精确。
启用工具包括希登ESPion Langmuir-style探针测量等离子体的离子和电子密度和能量,和希登PSM EQP四极质谱仪正面和负面的描述等离子体离子物种连同他们的富足和离子能量。所有支持全方位的配件,与微分泵选择流程操作5条。
ESPion探测器可用版本的操作在射频和直流等离子体,在更高的温度下和在不同长度超过1000毫米。兼容bellows-sealed ' Z '驱动器有多达900毫米的翻译。
EQP和紧凑的PSM等离子显示器软件相似,EQP系统有一个高清扇形场能量过滤和能量范围+ / -1000 eV。积分电子轰击离子源用于中性/自由基测量和研究的电负性物种的电子附件。