的ibs组2009年推出了GV10x下游(DS) Asherin，用于半导体行业清除cd - sem和Review sem中的碳氢化合物污染。该公司最近报告了GV10x在英飞凌和Hydro的成功使用。
扫描电镜扫描时间为1分钟，放大20万倍拍摄的图像。左侧图像在GV10x清洗前拍摄，右侧图像(样品不同部位)在清洗5分钟后拍摄。(由英飞凌科技)
该设备具2020欧洲杯下注官网有创新的专利设计，能够在比其他商业上可用的污染去除系统更低的压力下工作。因此，碳氢化合物可以均匀有效地从大的容器中去除。IBSS报告说，除了清洗cd - sem和Review sem的大腔室之外，也可以有效地清洗标准sem。由于该设备效率高，系统2020欧洲杯下注官网的停机时间大大减少。GV10x的清洗周期涉及用户准备扫描电镜进行清洗、清洗扫描电镜并允许扫描电镜返回其正常操作模式所花费的时间。由于GV10x在涡轮分子泵安全的压力下工作，因此清洗周期大大缩短。
德国慕尼黑英飞凌公司的Gerald Neumann使用GV10x从他用来研究半导体组件的SEM中去除碳。如果GV10x没有部署，只需1分钟的扫描，放大20万倍，就会导致碳氢化合物污染，从而完全阻塞被检查的地表。清洗10分钟后，观察到在20万倍放大1-2分钟的扫描可以在没有任何污染影响的情况下进行。
Pierre Hovington也在加拿大Hydro Québec使用了GV10x，他在那里使用SEM来检测粒子。欧洲杯猜球平台他观察到，如果样品检查的时间较长，他的扫描电镜上的图像对比度降低。用GV 10x清洗扫描电镜后，不再见造影剂损失。样品上的暗区也被去除。