的希登差分泵浦PSM等离子体探针提供了建立不同等离子体和脉冲等离子体过程的反应化学所需的关键参数的测量。
集成的四极质谱仪(QMS)和贝塞尔盒能量分析仪产生详细的诊断，识别正等离子离子种类和强度，离子能量在+/- 100eV的能量窗口内。此外，该系统还可作为传统的质量管理系统，用于气体种类的测量和泄漏检测。
轴向对称确保了紧凑的组装需要最小的空间包膜，差动泵使操作过程压力从10E-4mbar到2mbar。
用于等离子体诊断的PSM质量和能量分析仪。
带有增量定时延迟的可编程时间分辨信号门控具有门宽和门延迟可调至最低仅100纳秒。该设备，连同系统数据积累模式，证明是理想的适合于脉冲等离子体剖面的详细描述和一般的时变研究。
PSM系统可提供超过1000amu的质量范围选项。替代系统提供正离子和负离子的分析，离子能量范围为+/-1000eV。