隐藏发射新ESPION朗缪尔式脉冲等离子体探针

从希登分析2013年6月18

的ESPIONLangmuir-style调查从希登分析被认为是目前最通用的商用静电探针。探针自动报告等离子体的关键特性，如电子密度和能量分布、电子温度、离子密度、等离子体电势和浮动电势，为基于等离子体的过程分析和控制提供快速准确的反馈。

脉冲等离子体比连续波等离子体更有利于薄膜生长和薄膜性能的优化。快速机载软件控制定时电路，采集触发分辨率为62.5纳秒，使ESPION能够通过脉冲频率高达3MHz的等离子脉冲提供高分辨率分段时间分析。其他功能包括探头尖端的强制空气冷却，用于自动探头尖端去污的可编程自清洁循环，用于最佳数据完整性的非常高的射频阻塞阻抗，以及用于消除等离子体电位低频漂移引起的波动的积分参考探头补偿电极。

探头可在静态和动态模式下操作，具有完全可编程的特高压兼容线性运动驱动器，提供900毫米的线性行程范围。在等离子体测量领域拥有超过20年的连续制造经验，以及拥有等离子体诊断和处理专家知识的工程师和科学家的全球支持网络。

有关此或其他隐藏产品的进一步信息，请联系隐藏分析(电子邮件保护)或访问主要网站www.HidenAnalytical.com．

引用

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美国心理学协会
针孔分析。(2019年,09年2月)。隐藏发射新ESPION朗缪尔式脉冲等离子体探针。AZoM。于2021年9月12日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=37201检索。
MLA
针孔分析。隐藏发射新ESPION朗缪尔式脉冲等离子体特征探测器。AZoM．2021年9月12日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=37201 >。
芝加哥
针孔分析。隐藏发射新ESPION朗缪尔式脉冲等离子体特征探测器。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=37201。(2021年9月12日生效)。
哈佛大学
希登分析》2019。隐藏发射新ESPION朗缪尔式脉冲等离子体探针．viewed September 12, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=37201。