2013年7月9日
SCHOTT该公司将在Semicon West展会上展示一系列照明和成像组件，这些组件可以推进微纳米电子制造的生产流程。
展出的产品将包括SCHOTT的miniMML集成视觉单元、高亮度ColdVision LLS 3 LED光源以及用于检查微电子机械系统(MEMS)制造中的硅片的IR-MEMS检测器。SCHOTT将于2013年7月9日至11日在旧金山Semicon West的515号展位展示这些产品。
具有15毫米的低轮廓体，miniMML集成到一个单元的远心镜头，同轴和倾斜LED照明，WVGA CMOS相机，LED电源和控制器，以及所有必要的电缆。miniMML的大小是传统成像设置的1/20，消除了组件选择和设置调整的需要，同时通过锁定USB-2.0接口提供近乎无失真的性能，电源和I/O。
另一个对检查制造过程和其他应用至关重要的组件是LLS 3。ColdVision系列LLS 3 LED光源亮度高，可达到150W卤素灯级。该光源可在冷白色和温暖白色温度下使用，并与高质量光纤导光板耦合，以实现高强度和高均匀度的照明。其主要应用包括半导体、PCB、web等线扫描检测应用;高性能工厂自动化;医药包装检验;以及卤素替代能源和环境倡议。
SCHOTT的IR-MEMS Inspector可在MEMS晶圆制造过程中识别缺陷。这些元件的精细结构很容易被灰尘或微颗粒破坏，而且质量保证通常很困难——使用显微镜费时且不准确，而对较小的公司和晶圆厂来说，完全自动化的检查通常是禁止的。欧洲杯猜球平台IR-MEMS检测器通过监测用于构建MEMS的硅衬底发出的红外光，将亚微米精度和自动化检测的优势结合起来。
Semicon West将世界上最具影响力的技术背后的人们聚集在一起。通过展示肖特广泛的照明和成像产品，我们的目标是帮助他们通过质量控制的成本效益选择，将这些技术推向市场。”miniMML降低了系统尺寸和组件管理成本。LLS 3使处理的图像质量达到最佳。IR-MEMS检测器将全自动多光谱检测系统与灵活性和经济效率相结合。所有这些组件都支持微电子和纳米电子制造商创造卓越的产品。”