CEA-Leti.和ev组（evg）已推出三年共同的实验室，以优化与3D TSV集成和所有直接粘合异质结构相关的临时和永久粘合技术。
该实验室在两个组织之间持续超过10年的合作，专注于硬件，软件和流程开发。
“临时和永久的粘接设备和流程解决方案是EVG的关键产品，”埃斯科公2020欧洲杯下注官网司技术开发和知识产权主任Markus Wimplinger表示。“该项目利用CEA-Leti在晶圆粘接研究中的全球领导，并在开发晶圆粘合设备和工艺技术方面的无与伦比的专业知识。”2020欧洲杯下注官网
“与Leti与其合作伙伴创造的所有常见实验室一样，该项目旨在制作解决当前和未来市场要求的具体，实用的解决方案，”Cea-Leti首席执行官Laurent Merier说，Laurent Malier说。“该协作是针对3D TSV集成在室温下使用共价键合的3D TSV集成的结果，使3D TSV集成更有效和成本效益，并在室温下使用共价键合。”
“将这些方法带入高批量制造，具有可靠的晶圆粘合需要创新的制造过程，”Leti硅技术部门负责人Fabrice Geiger说。“普通实验室内开发2020欧洲杯下注官网的新设备和工艺技术将允许令人兴奋的可能性，特别是对于需要非常低温晶片键合的异质材料堆叠。”欧洲杯足球竞彩
关于CEA-Leti
Leti是一家CEA，一个法国研究 - 技术组织，具有能源，IT，医疗保健，防御和安全活动。Leti专注于通过技术转移到其工业伙伴来创造价值和创新。它专门从事无线设备和系统的纳米技术及其应用，从事生物学，医疗保健和光子学。NEMS和MEMS是其活动的核心。CEA-Leti的MinaTec Campus的锚定，在200mm和300mm的晶圆平台上运营了8,000平方米的最先进的洁净室空间。它雇佣了1,700名科学家和工程师，包括320博士。来自合作伙伴公司的学生和200名受让人。CEA-Leti拥有超过2,200个专利家庭。
有关更多信息，请访问www.leti.fr.。
关于ev组
EV组（EVG）是用于制造半导体，微机电系统（MEMS），复合半导体，功率器件和2020欧洲杯下注官网纳米技术设备的设备和工艺解决方案的领先供应商。主要产品包括晶片键合，薄晶圆加工，光刻/纳米压印光刻（NIL）和计量设备，以及光致抗蚀剂涂布机，清洁剂和检查系统。2020欧洲杯下注官网成立于1980年，EV集团服务，并支持全球全球客户和合作伙伴的详细信息。有关EVG的更多信息可供选择www.evgroup.com.